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永技企業(YUNGCHI Enterprise)不僅專精於超音波清洗設備的設計製造,也提供不鏽鋼客製化製品開發服務。我們可依客戶需求量身設計各類不鏽鋼結構件與配件,包含實驗桌、作業台、支架、槽體及特殊功能設備等。
介紹

永技企業(YUNGCHI Enterprise)具備半導體周邊設備之客製化設計與製造能力,本設備為晶圓半自動擺盤機,適用於各式晶圓清洗後的取放、移載與擺盤作業。機台以全不鏽鋼結構製造,搭載氣缸升降與自動夾持治具,可協助操作人員安全、穩定地完成晶圓盤的定位與搬運,大幅降低手動作業的不良風險。

設備可依客戶流程需求客製化控制模式、擺盤方式、槽體尺寸與治具形式;並具備清洗槽液位偵測、抽風與排液配置,確保操作區域保持乾淨、低污染的環境。
本設備適用於 半導體製程前後處理、晶圓清洗線、光電製程相關擺盤應用。

永技企業半自動晶圓擺盤機,用於晶圓製程的自動化上下料與精準擺盤設備
永技企業半自動晶圓擺盤機,用於晶圓製程的自動化上下料與精準擺盤設備

晶圓半自動擺盤機

介紹

入水前置加熱裝置為安裝於製程設備入水口前端之即時加熱模組,可依實際加水流量配置對應電熱功率,於進水瞬間完成升溫,大幅提升整體加熱效率。相較傳統槽體加熱方式,無須長時間預熱整槽液體,即可快速達到製程所需溫度,有效縮短開機等待時間並降低能源浪費。

本裝置採用不鏽鋼結構設計,適用於純水、製程用水及相關清洗液體,可與多槽式清洗設備及前後段製程系統整合使用。系統可依客戶需求客製流量、加熱功率與控制方式,確保溫度穩定、反應即時,特別適合對溫控速度與製程效率有高度要求之產業使用。

入水前置加熱裝置

前置加熱裝置實體照片,透過循環預熱清洗液以確保超音波清洗溫度穩定
前置加熱裝置實體照片,透過循環預熱清洗液以確保超音波清洗溫度穩定