耐酸式

介紹

具備無塵室等級密閉設計，採用旋轉式清洗機構，單批可處理多達 100 片晶圓，確保高效與穩定的清洗品質。

3 吋 ~ 6 吋晶圓旋轉式蝕刻

技術優點

• 特殊放置架

• 產品旋轉式清洗

• PFA、PVDF、HDPE、PP材質

• 循環過濾系統

• 為無塵室等級或防爆等級機型

介紹

永技多槽式耐酸清洗機採用 PP、PVDF 等耐酸蝕塑膠材質 製造，具高耐腐蝕性與長期穩定性，專為酸性藥液或化學藥水製程所設計。整機以多槽分段清洗方式運作，每槽獨立控制溫度、時間與循環過濾系統。配合過濾與循環系統確保清洗液潔淨，避免交叉污染；亦可依環境需求製作成無塵室等級或防爆等級機型。

晶圓蝕刻清洗機

技術優點

• 耐酸設計

• PFA、PVDF、HDPE、PP材質

• 多功能清洗流程可依需求客製化

  1.超音波 2.水淋 3.風刀 4.熱烘

• 可模組化設計

• 交叉汙染最小化

• 可搭配過濾與循環系統

• 可製作為無塵室等級或防爆等級機型

• 維護方便